妙笔阁>都市现代>重生于火红年代>第785章 弯道超车的机会

之所以孙祖杰这么牛逼轰轰,敢做这样的赌博,就是因为孙祖杰在八十年代投资启动研究的几款雷射器,尤其是arf 1雷射器终于在1997年开发成功,这是一个具有战略意义的重大突破。

而最先进的极紫外光euv技术,华国经过长期不懈的攻关,目前也已经取得了不少的成果。

之所以在光源上取得突破,原因就是华国的雷射技术一直处于世界一流水准。有了不少投资,又有了明确的方向,取得发展是必然的。

华吉光电所搞出的雷射器虽然功率低了一些,但是勉强可以使用,这也迫使倭美两国不得不陆续放弃了对华国在这一领域的技术封锁。

孙祖杰对他们取得的成功非常高兴,华投紧接着又拨给他们一千万华元资金,要求arf 1雷射器必须达到西方同等水平。

但是光源只是光刻机一小部分,作为最尖端的机电一体化产品,华国自产的光刻机最大的问题就是套刻精度不够和生产效率不行。

套刻精度与光刻分辨力密切相关。如果要达到0.10μm的光刻分辨力,根据33法则要求套刻精度不低于0.03μm。

套刻精度主要与工件台和掩模台定位精度、光学对准精度、同步扫描精度等因素有关,定位精度、对准精度和同步扫描精度分别约为套刻精度的1/5~1/3,即0.006~0.01μm。

而提高生产效率是光刻机实现产业化的必要条件。为了提高生产效率,必须优化设计雷射器输出功率、重复频率、曝光能量控制、同步扫描等各个技术环节,并采用先进技术尽量减少换片、步进和光学对准等环节所需时间。

要想能够完善所有环节,必须用漫长的时间去摸索,调试,这就需要大量的投资。虽然欧派微芯出钱,各大学和几大光学所出技术,花了无数的钱,但是因为华国整体工业实力的不足,华国国产光刻机为了提高套刻精度,还是不得不降低生产效率。

华国九十年代研发的1微米前道光刻机相比于进口产品,效率一直差得比较多,就是这个原因,所以为了提高生产效率,孙祖杰很早就想到了阿斯麦的双工作台。

双工作台系统,使得光刻机能在一个工作台进行曝光晶圆片,同时在另外一个工作台进行预对准工作,并在第一时间得到结果反馈,这样生产效率可以提高大约 35,精度提高 10以上。

但是双工件台系统虽然仅是加一个工作台,但技术难度却不容小觑,对工作台转移速度和精度有非常高的要求。

华国工程师从磁悬浮技术得到启示,利用华国在永磁体领域的领先,正在全力开发磁悬浮工作台,目前实验研究已经有了不小的突破,实验发现精度确实有了不小的提高。

现在有了1光源,有了浸没式光学镜头,又有了双工作台的突破,专家们经过研究认为根本没有必要再跟着西方的技术路线亦步亦趋,欧派微芯完全可以直接攻关0.1微米左右线程的浸没式光刻机。

因为使用 1光源的浸没式光刻机,波长直接缩短为134n左右线程起步,再通过光学邻近效应矫正等技术后,其极限光刻工艺节点甚至可达 28nm。

要知道在1997年,此时主流的光刻机线程也不过0.25微米,采用的还是krf248 n乾式光刻机线程也仅仅是0.18微米,下一步才是0.13微米,。

也就是说采用另外一条技术路线的华国人有3到5年的宝贵追赶时间,有这个时间应该有机会取得突破。

只要这款光刻机被攻克,华国就很可能实现弯道超车,为此赌一把绝对是值得的,毕竟华投有了相应的技术积累。

除此之外,还有一个好处,那就是采用1左右时,差不多快到极限了,而采用华国路线,线程可以直接到达30nm左右,都问题不大。

所以到达这段线程区间时,欧美要么更换光源全部推倒重来,要么与华国交换技术。前者需要大量投资,而后者有现成的技术,到时候除非资本家脑子短路了,否则他们一定会与华国交换专利。因此华国的技术路线,明显才是未来,那么现在投入再多,也是值得的。

就在1998年初,更换了身份之后的孙祖杰,以华投决策小组组长的身份,出席了新型光刻机的研发动员大会,林先生也参加了这次动员大会。

这几年林先生的研究团队精力都放在天翼那条0.5微米晶片生产线的调试和改进上,并没有许可权知道华投在光刻机领域的那些秘密。

经过几年的合作之后,林先生的研究团队已经被认可,所以今天他才有资格出席今天的动员大会,参与到这款代表未来的光刻机研究。

林先生听着长吉光电所的同志公开新型光刻机的技术方案,简直不敢相信自己的耳朵。

什么时候内地已经攻克了浸没式光刻机,而且有了不止一代产品,那就说明他们很早就有这个思路,并已经实现,可是他们为什么又一直保密,没有对外公开?

不过转而一想,林先生也意识到了什么,这些年内地的半导体工业一直在追赶,而且速度很快。

九十年代初就宣称弄出了1微米光刻机,而到了95年已经攻克了0.5微米光刻机,所以欧美相继对华国解禁了一部分技术封锁,恐怕就是他们浸没式光刻机的效果。怪不得华国人一直对自己的国产光刻机极端保密,不愿意对外公开,原来是这个原因。

这样一来,他的兴趣猛然间大了很多,他怎么也


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